Kasutatav protsess fotoelektrilise valgustundlikustatud materjali suhtes substraat kui energiaväärtusega ioonide kasutatakse bombard elementaarse pooljuhtmaterjalist, allikad, mida väljutada vapors on õhukeste kihtidena substraadil, seejärel hoiule aatomite füüsilise vapor sadestamise protsessi abil.